*1 Ini boleh dilakukan dengan pilihan.
Saiz papan | 50mm×50mm-410mm×300mm 50mm×50mm-630mm×300mm (tindakan ke papan panjang)*1 | |
Resolusi ujian | 12μm (peleraian standard)/5μm (peleraian tinggi)*1 | |
Sudut imej | 48.0×36.0mm、20.0×15.0mm*1 | |
Barangan pemeriksaan | Pemesut, ricih, kekutuban, terbalik sisi, pateri tidak dipateri, jambatan, kuantiti pateri, peninggalan bahagian sisipan, pengecaman aksara*1 | |
FOV (Keadaan optimum) | 2D | 0.2saat/1 skrin |
3D | 61.8cm²/saat |